测量CCD传递函数的实验系统

摘要：

介绍了一种新型的测量CCD传递函数的灵巧系统,该系统包括能产生动态变频正弦光栅图样的灵巧干涉仪系统,数据采集和转换系统,数字处理所必须的软硬件等.测量结果表明:干涉仪所产生的正弦光栅图样,可在0.2~80 line pair/mm的空间频率范围内以误差小于1%的精度实现连续变频,且信号的调制对比度接近于1.将该干涉仪产生的正弦光栅图样用作测量CCD的调制传递函数的靶标,再采用我们专门研制的数据处理的软硬件,得到了令人满意的测量结果.

关键词：CCD、正弦光栅、干涉仪

所属期刊栏目：26

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：327-331