激光镜镜面粗糙度的干涉测量

摘要：

开发了一种激光镜镜面粗糙度的全场、非接触干涉测量方法.测量了两面不同粗糙度的铜镜,测出的数据和用6JA型显微干涉轮廓仪测量的结果相吻合.测量的范围为0.01～0.12 μm,理论上测量的精度可达0.002 μm.它对镜面抛光过程的控制有实际意义.

关键词：干涉测量、粗糙度、激光镜

所属期刊栏目：26

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：141-144