用激光将廉价有机硅烷合成SiC纳米粉的研究

摘要：

采用激光诱导二甲基二乙氧基硅烷气相合成了SiC纳米陶瓷粉,对其合成工艺进行了研究,用多种分析手段对粉体进行了测试表征,同时对合成的非晶纳米SiC粉和初期晶化进行了探讨.实验结果表明:通过控制反应物蒸气流量,可对反应温度进行控制,从而实现对粉体组成、结构进行控制.在其他条件不变时,当反应物蒸气流量为700～820 sccm时,可制得较为理想的平均粒径为10～15 nm的非晶SiC纳米粉;非晶SiC纳米粉在1160℃氩气氛下晶化处理,开始晶化,由非晶SiC经固相反应得到β-SiC.

关键词：激光合成、SiC、纳米粉、晶化

所属期刊栏目：26

分类号：O43(光学)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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