利用准分子激光制备晶体和半导体的纳米粒子

摘要：

利用准分子脉冲激光(XeCl,λ=308 nm)对Si,红宝石和钛宝石靶进行消融,从而得到SiO2和红宝石、钛宝石的钠米级粉末.用透射电镜对粉末的物质形态进行分析,并对消融产生的纳米颗粒在其颗粒大小及分布上予以分析统计.

关键词：准分子激光、纳米粒子、消融

所属期刊栏目：26

分类号：O43(光学)

资助基金：国家重点实验室基金

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：85-88