相移干涉计量中高精度相移器的研究

摘要：

相移器是相移干涉计量中的关键技术,对测量精度有很大的影响,关系到相移技术的成败.介绍了一种闭环控制的高精度相移器,输出电压精度为0.1%,相移器重复误差小于3°,用该相移器的电子散斑干涉计量系统测量精度可达λ/100.

关键词：电子散斑、相移器、干涉计量

所属期刊栏目：26

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：21-25