新松首次对外提供双臂真空机械手,单臂真空机械手已批量应用于国内半导体产业

摘要：

双臂,四指,真空机械手有节奏地伸缩旋转.
“伸缩动作3.2秒,旋转90度1.5秒,旋转180度2.2秒……”沈阳新松机器人股份有限公司半导体事业部工程师,正在实验室跟踪数据、调试产品.
“这是新松第一次对外提供双臂真空机械手.”公司事业部副总裁杨奇峰介绍,这个产品专为沈阳拓荆科技有限公司的半导体薄膜设备开发.

机标关键词：真空机械手、半导体产业、批量应用

分类号：TP241;F426.63;TH166

在线出版日期：2021-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：46-47