曝光时不同载具对光敏玻璃通孔工艺的影响

摘要：

基于光敏玻璃,采用紫外光曝光、热处理以及湿法刻蚀方法制备出玻璃通孔,研究了曝光过程中不同反射率载具对玻璃通孔工艺的影响,揭示了光敏玻璃曝光时的改性过程.实验结果表明,曝光量相同时,反射率高的载具有益于玻璃通孔的制备.

关键词：光敏玻璃、玻璃通孔、载具、改性过程

所属期刊栏目：32

分类号：TN305;TG156;O484

在线出版日期：2023-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-69