Foundry早期工艺开发的重要抓手——SRAM Bitcell工艺合格性验证芯片

摘要：

现在国内各地新建集成电路制造厂(以下简称Foundry)越来越多,各个工艺节点的工艺线都在积极地推进,并希望尽早地实现量产出货.目前,对广泛使用的CMOS逻辑工艺来说,达到量产的一个主要标志就是SRAM(静态随机存储器)Bitcell(位单元)工艺的良率水平.由此,SRAM Bitcell工艺合格性验证芯片(Technology Qualification Vehicle,以下简称TQV)就成为早期工艺开发的重要抓手.本文介绍了 SRAM Bitcell TQV芯片的作用,目标,基本的设计方案考虑,测试调试中的常见问题,以及它与Foundry 后续 SRAM IP(Intelligent Property)开发的不同之处.

关键词：SRAM、TQV、IP、良率

所属期刊栏目：32

分类号：TN492;S;TP39

在线出版日期：2023-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-64,80