炉管设备高精度温控系统研究

摘要：

炉管设备是目前半导体扩散、氧化、退火等工艺的主要设备,其温度控制的精度、温度场的均匀性等是设备的关键性能指标.为了满足炉管设备对温度控制的要求,设计了多段独立控制的加热系统,并采用串级控温方式对炉体内温进行精准控制;通过在调节PID参数进行动态调整,提升内温的动态跟随性能;通过在调节SP上限进行动态调整,达到了不过冲的性能;开发了设备控制软件并对温度控制性能进行了测试.结果表明,该温度控制系统可以满足快速升温、温度不过冲、温度控制的精度、恒温区均匀性以及动态跟随性能等均符合工艺技术要求,已在炉管设备上成功应用.

关键词：炉管、温度控制、串级PID控制、动态调参

所属期刊栏目：32

分类号：TP334.3;TP273;TU831.6

在线出版日期：2023-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：78-82