基于改进遗传算法的PID外延加热优化控制

摘要：

本文介绍了一种基于改进遗传算法PID对外延加热系统控制系统.在建立外延感应加热系统原理模型的基础上,利用遗传算法的寻优特点,得到适应值的最优解,找出PID的最佳参数.寻优得到的PID参数与温控仪自整定PID参数结果进行比较,发现寻优后的PID能够达到更好的控制效果.

关键词：遗传算法、感应加热、PID、温度控制

所属期刊栏目：32

分类号：TP273;TP393;TD614.2

资助基金：宽禁带半导体SiC高温外延生长装备开发和产业化X210241TC210

在线出版日期：2023-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-77