集群式PVD设备控制系统 研究与设计

摘要：

集群式PVD设备具有产能高、污染控制好、工艺配置灵活等特点,广泛应用于集成电路、MEMS、光学薄膜等半导体晶圆制造薄膜沉积工序.本文针对集群式PVD设备结构和工艺特征进行研究,设计一套满足晶圆传输、定向、烘烤、沉膜等功能控制系统,详细阐述设备各模块功能,控制系统软硬件设计及实现.

关键词：群集式PVD设备、控制系统、PLC、监控软件

所属期刊栏目：31

分类号：TP311.52;TP273;F425.4

在线出版日期：2022-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：72-75