新形势下对国产芯片生产过程质量管理模式的探讨

摘要：

本文结合南京电子器件研究所芯片生产线的质量管理经验和措施,针对新形势下的国产芯片生产质量管理模式的创新,围绕缺陷(defect)监控、夹具管控优化、深入推广统计过程控制(Statistical Process Control,SPC)、设定专职岗位、建立工艺变更管控制度的五个方面进行了介绍和探讨.

关键词：半导体芯片;质量管理;工艺缺陷;SPC;专职岗位;工艺变更

所属期刊栏目：30

在线出版日期：2022-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-60,66