硅光技术与测试挑战

摘要：

硅光技术是硅技术与光电技术的结合,具有很大的应用前景.硅光器件通常需要先在晶圆上进行测试、筛选后再进行封装.本文介绍了硅光技术的发展,以及硅光器件的典型测试参数和测试方法,并对硅光晶圆测试中的光路耦合、波长扫描、高频参数测量等挑战以及解决方案进行了深入探讨.

关键词：硅光、晶圆测试

所属期刊栏目：29

在线出版日期：2021-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：80-84