步进扫描光刻机整机集成工艺方案设计

摘要：

步进扫描光刻机结构非常复杂,由十多个分系统组成.光刻机的装配分集成和调试两个阶段,指标均由整机尺寸链给出.指标的特点是:数量多、精度高.光整机集成阶段指标达100多个,部分集成精度达到微米级别,调试阶段的指标精度则更高.面对如此复杂的系统,要想实现集成指标,必须系统性地进行集成工艺方案设计.

关键词：光刻机、集成工艺方案设计、工装

所属期刊栏目：29

在线出版日期：2020-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：74-78