双(多)工位双(多)植入式测试机械手

摘要：

随着半导体制程不断向极限挑战,器件复杂程度和运行速度得到了前所未有的提高,要完成全覆盖的测试需要超级复杂、功能强大的测试机,但这样的测试机非常昂贵(百万级美元),大大提高了测试成本.我们通过分析发现:一个复杂器件有70％的参数是一般性的要求,另外30％的参数才是需要高精尖测试设备来应对的;鉴此,我们可以把需要测试的项目分成两段或多段,低要求的部分用低成本的测试机测试,高要求的部分用高端测试机来满足需求,从而降低整体测试成本.为实现以上目的,现提出双(多)工位双(多)植入式测试机械手的概念,本设备可以在一台机器上连接不同性能的测试机,一次完成所有参数的测试,在降低测试设备成本的同时,满足效率和数据完整性的要求.

所属期刊栏目：29

在线出版日期：2020-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：81-83