FD-SOI:为5G和AIoT保驾护航——第七届上海FD-SOI论坛在上海召开

摘要：

FD-SOI作为一种特殊的半导体制造工艺,其独特的技术优势在于:第一、能够大大减小寄生电容,提高运行速度,与硅材料相比,SOI器件的频率提高了20％～ 35％;第二、降低了漏电,具有更低的功耗;第三、消除了闩锁效应;第四、抑制了衬底的脉冲电流干扰,减少了软错误的发生;第五、与现有硅工艺兼容,可减少13％～ 20％的工序等.

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在线出版日期：2019-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：14-17