光刻机测量支架减振效果研究

摘要：

本文根据最佳减振效果的理论模型,提出包括被动减振、主动减振等光刻机测量支架减振处理的几种方法,开发了相应实验装置,并通过实物测试评估了实验装置的减振效果.

关键词：光刻机、被动减振、主动减振

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资助基金：上海市优秀学术/技术带头人技术资助16XD1423100

在线出版日期：2019-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：68-72,77