MEMS加速度计传感器专用ASIC简介及设计

摘要：

MEMS做为本世纪前沿技术,有着非常广阔的前景,越来越受到业界专注.本文介绍了华润上华设计中心研发的3轴加速度计的原理及ASIC电路设计,该电路由前置放大器、增益失调调节电路、模数转换器、温度感应器及数字信号处理电路等组成.本电路结构简单,精度高,功耗低,能很好地满足系统中惯性及加速度的测量.

关键词：微电机系统、加速度计、模数转换器、前置放大器、温度传感器、增益失调校准

所属期刊栏目：28

在线出版日期：2019-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：35-40,88