电容式湿度传感器读出电路的设计

摘要：

本文提出了一个电容式湿度传感器的读出电路,实现对湿度电容信号到数字信号的转换,即电容数字转换器(CDC).该CDC采用Sigma-Delta调制技术进行电容信号的转换,同时采用Zoom-in技术,减少参考电容的大小,扩展电容测量范围.本设计采用SMIC 0.18 μm CMOS工艺,电源电压为1.8V,采样时钟频率为250 KHz.仿真结果表明该调制器精度达到13 bit,整个调制器共消耗电流为180μA,输入电容的共模范围为0-8pF,动态范围为-0.26 pF～+0.26 pF.

关键词：电容式湿度传感器、电容数字转换器、Sigma-Delta调制、Zoom-in技术

所属期刊栏目：28

资助基金：福建省自然科学基金2018J01803

在线出版日期：2019-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：34-38,93