套刻成像技术中波长可调性的准确度优化

摘要：

随着半导体制造技术的发展和集成电路元件尺寸的缩减,套刻预算也相应被削减.由于测量系统自身的光学瑕疵,以及光束与测量目标的几何不对称之间的相互作用,套刻预算已经接近测量误差的范围.测量误差对元件良率的影响显著,因而不能将其忽略.在本文中,我们研究了一种基于图像套刻(IBO)测量的新方法.其中采用了波长可调套刻图像量测技术,并优化准确度而非对比精确度,以及研究其对总目标性能的影响.我们展示了基于理论推导的新准确度指标,并将其识别测量准确度与CD-SEM套刻测量的效果进行了比较.本文包括理论论证、模拟结果以及测量数据,这些数据显示了可调性结合新的准确度指标可以提高准确度性能.

关键词：基于图像的套刻、波长可调性、量测、套刻目标、准确度、AIM

所属期刊栏目：28

在线出版日期：2019-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：48-53