IPA干燥过程中影响颗粒因素的研究

摘要：

本文是采用Marangoni效应来实现抛光硅片的干燥过程遇到的颗粒问题,并对其影响因素进行研究.研究过程中,可以在IPA携带N2压力为15PSI,DI水慢排速率为1mm/s,慢排完毕后IPA喷雾持续时间为180S,热N2压力为10PSI的情况下,得到的干燥效果最佳.

关键词：IPA、异丙醇、颗粒、Marangnoi

所属期刊栏目：28

在线出版日期：2019-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：44-47,92