从铝互连到铜互连——回顾铜革命的20年发晨历程

泛林集团

摘要：

铜互连技术发展已经步入了第20个年头.然而,即使芯片制造技术已经经历了20年的发展,铜的革命仍然被认为是该行业有史以来最为重大的变化之一.归功于铜的集成,电子产品从此变得速度更快,性能更强大,性价比更高.为了纪念这个重要的里程碑,让我们一起关注该行业正在经历的变革,并回顾成功集成铜的过程.

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在线出版日期：2018-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：79-81