MEMS陀螺仪中高精度ADC设计

摘要：

陀螺仪是惯性导航系统的核心敏感器件,其测量精度直接影响惯导系统的准确性.而模数转换器ADC作为MEMS陀螺仪的核心器件,其精度决定了系统性能的好坏,如何实现高精度是ASIC的设计重点.本文介绍了一款二阶sigma-delta调制器(MOD2)的设计,从系统建模到电路设计再到最终的流片测试均给出了详细数据.

关键词：MEMS微机电系统、模数转换器、sigma-delta调制器、滤波器

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在线出版日期：2018-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24