深槽刻蚀工艺参数及干法清洗工艺的研究

摘要：

本文研究了博世(Bosch)工艺的工艺参数及清洗工艺对刻蚀结果的影响.通过调节工艺参数(包括SF6气体的流量、工艺气压、上电极(Source)功率、下电极偏压(bias)功率、C4F8钝化切换时间)研究其对刻蚀速率、选择比及刻蚀形貌的影响,得到了工艺参数的一般性规律及本实验的最佳工艺条件,刻蚀速率1.77 μm/min,选择比为91.23,深槽CD差在-0.2 μm左右,刻蚀形貌为倒梯形且接近垂直.同时对干法清洗工艺进行了研究,解决长草异常的同时,提供了一种深槽刻蚀工艺维护的方法.

关键词：博世工艺、深槽刻蚀、清洗工艺、微机械系统

所属期刊栏目：27

在线出版日期：2018-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：55-59,89