克服3D NAND规模化生产面临的挑战

摘要：

自从几年前面世以来,3D NAND由于能够有效增加存储设备的位密度,已发展成为一种主流技术.随着3D结构制成工艺的进步和位成本的降低,3D NAND技术的普及程度也被加快了.然而,尽管具有诸多优势,3D NAND整体工艺复杂、资本投入高,因此制造厂商在流程控制、生产良率、资金运转等方面依然面临着巨大的挑战.

所属期刊栏目：27

在线出版日期：2018-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：54-56