金属氧化膜电阻的失效分析方法研究

摘要：

本文通过对失效样本的外观检查、有机溶剂去除保护层、万用表逐圈检查初步定位失效部位和40倍显微镜放大检查的4个步骤,成功准确地找到了金属膜电阻的失效部位.并从电气角度分析了金属膜电阻的失效过程,总结了提高金属膜电阻的可靠性的方法,为金属膜电阻的失效分析提供了一种思路和解决方案.

关键词：金属氧化膜、电阻、失效分析

所属期刊栏目：26

分类号：TN04(一般性问题)

在线出版日期：2021-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-72