通过ZNB20矢量网络分析仪研究AlN声表面波器件的频率响应特性

摘要：

作为选频滤波器,声表面波(SAW)器件在移动通讯领域有重要应用,在传感领域也有广阔的应用前景.AlN声速高,热导率高,材料的内禀损耗小,适合作高频SAW器件的压电转换材料.矢量网络分析仪是SAW器件性能表征的关键仪器.本文采用ZNB20矢量网络分析仪,搭载ST-103A手动变温探针台,通过片上测试,研究了AlN薄膜SAW器件的频率响应特性,并研究了器件的温度系数.研究发现,所制备的器件在其零阶谐振(341MHz)处,其插入损耗为35 dB,品质因子为188,带边抑制约30 dB,器件的频率温度系数为-74.3 ppm/℃.结果表明,ZNB20与ST-103A组合,可高效完成SAW器件的性能表征.

关键词：声表面波器件、ZNB20、SAW、AlN

所属期刊栏目：26

分类号：TN7;TM9

资助基金：国家自然科学基金青年基金51602105

在线出版日期：2017-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：72-75