应用于MEMS压力传感器的读出芯片设计

摘要：

基于斩波技术和开关电容结构,研究并设计一款用于MEMS压力传感器的低噪声、高精度读出芯片.在经典三运放结构的基础上增加了斩波开关,并在传统自调零结构上进行改进,引入一种开关电容滤波器,实现对失调电压的消除.采用SMIC 0.18 μm CMOS工艺,对所设计的电路进行仿真验证.仿真结果表明,在不同增益情况下,输出端的增益误差均小于0.1％;在0 ～650Hz范围内,等效输入噪声小于600nV,满足MEMS压力传感器输出信号的分辨率的要求.

关键词：压力传感器、读出电路、失调消除、斩波技术、自调零

所属期刊栏目：26

分类号：TN7;TN3

资助基金：国家自然科学基金61404030

在线出版日期：2017-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-45,48