芯片工厂有关节能措施的考虑

摘要：

本文简述了集成电路行业芯片工厂的特点,业内普遍采取的节能措施.对类似建设项目的节能评估、工程设计提供一定的帮助和参考作用.

关键词：集成电路、芯片、洁净、节能措施

所属期刊栏目：26

分类号：TU9;TU8

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-61