MEMS悬浮结构TEM样品制备方法

摘要：

MEMS器件具有镂空和悬浮结构.对悬浮结构进行失效分析遇到了新的挑战.对其进行透射电镜(TEM)分析的时候,采用传统的样品制备方法会导致样品的变形甚至断裂.本文介绍了两种新颖实用的制备MEMS悬浮结构TEM样品的方法.方法一是利用玻璃针提取分离的样品,再利用聚焦离子束(FIB)来制备TEM样品;方法二是在FIB机台中原位提取L或C形切断的样品,再用常规的TEM样品制备方法制备样品.

关键词：MEMS、TEM样品、样品制备

所属期刊栏目：26

分类号：U41;U4

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：54-57