聚焦离子束制备透射电镜样品效率提升方法

摘要：

半导体技术的飞速发展对失效分析的效率要求也越来越高.为了提高失效分析过程中透射电镜(TEM)样品制备的速度和效率,本文介绍了四种提高聚焦离子束(FIB)制备透射电镜样品的方法,针对每一种方法,文中详细描述了该方法的改善步骤并展示了改善后的效果.通过FIB样品制备方法的优化和改善,实现了在不同情况下,针对特定的区域同时制备两个或多个TEM样品的目标,使得用TEM可同时完成对多个位置的观测,达到了提高TEM样品制备效率和产出量的目标.实践证明,对于45纳米以及更先进的半导体器件失效分析,使用优化后的样品制备方法,可以快速有效的制备出合格的TEM样品.

关键词：透射电镜、样品制备、聚焦离子束、失效分析、效率提升

所属期刊栏目：26

分类号：TN1;TQ5

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：51-55,85