MEMS陀螺仪传感器前端放大电路设计

摘要：

单片表面微机械三轴角速度陀螺仪芯片在华润上华0.18um工艺平台上流片验证.传感器控制芯片采用自动归零和斩波两种技术减小1/f噪声和热噪声.前端放大电路不仅放大角速度信号,同时去除来自传感器驱动信号的剩余信号.

关键词：微机械、角速度、陀螺仪、低噪声

所属期刊栏目：25

分类号：TM9;TN7

在线出版日期：2016-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：26-29,50