多腔室溅射台测量硅片薄膜吸气能力的方法

摘要：

本文通过对多腔室高真空溅射台进行改造,实现了对硅片级薄膜吸气剂的吸气能力进行定量评估.通过用毛细管将压力调整腔与测试腔体相连以进行压力差测试,适用于评估吸气能力较强的硅片级薄膜;该装置也可以用测试漏率法来评估吸气能力较弱的硅片级薄膜.本文为硅片级吸气剂吸气性能的测试和评价提供了一个工业级平台,为硅片制造厂吸气剂的工艺开发、性能研究提供了有效的方法.

关键词：硅片级、吸气性能、多腔室、毛细管

所属期刊栏目：24

分类号：TQ9;TL3

在线出版日期：2015-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：59-64