多轴PZT型MEMS陀螺仪及其前端电路设计

摘要：

介绍了多轴压电转换(PZT)型微机械系统(MEMS)陀螺仪的工作原理及其特点,并给出了一种与之相对应的专用集成电路ASIC前端电路的设计方法.首先要驱动该类型陀螺仪使之进入共振模式,只有当陀螺仪处于共振模式时,检测到的信号才是真正的角速度信号.ASIC前端电路是MEMS器件和后续电路的接口部分,需要将MEMS产生的电荷信号转换成电路可处理的电压信号.该前端电路还对检测到的信号进行了关键处理,降低了后续电路的设计难度.

关键词：PZT、MEMS、陀螺仪、前端电路设计

所属期刊栏目：24

分类号：TN7;TN9

在线出版日期：2015-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：30-34,70