金刚刀划片过程中的崩缺问题应对方案

摘要：

本文针对金刚刀划片崩缺问题,对比双刀划片和单刀划片试验,分析了崩缺产生的原因,提出了窄划片槽晶圆金刚刀划片崩缺问题的应对方案.金刚刀划片采用双刀划片降低崩缺风险优于单刀划片工艺,双刀划片刀宽度越窄有利于降低崩缺,第一刀切深1/3厚度有利于降低崩缺风险.

关键词：金刚刀、划片、崩缺

所属期刊栏目：23

分类号：TS1;TN4

在线出版日期：2014-04-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：57-60