功率器件IGBT槽栅设计尺寸对直流参数影响的研究

摘要：

IGBT由于其优异特性而广泛应用于电机、电焊机和功率开关等领域,是功率器件的主流产品之一.本文首先简要介绍IGBT及历代器件工艺的发展,提出了一种槽栅IGBT的工艺流程,并研究了其槽栅设计尺寸对器件主要直流参数的影响.

关键词：绝缘栅晶体管、工艺、槽栅尺寸、直流参数

所属期刊栏目：22

分类号：TN3;TN4

在线出版日期：2013-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-69