华润上华600V和1700V lGBT工艺平台开发成功

摘要：

华润微电子有限公司旗下的华润上华科技有限公司（后简称“华润上华”）宣布已开发完成600V和1700VPlanarNPTIGBT（平面非穿通型绝缘栅双极晶体管）以及600VTrenchPTIGBT（沟槽穿通型绝缘栅双极晶体管）工艺平台，各项参数均达到设计要求，并顺利通过可靠性考核。

关键词：平台开发、lGBT、工艺、绝缘栅双极晶体管、非穿通型、可靠性考核、微电子

分类号：TN386.1(半导体技术)

在线出版日期：2012-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：3-3