睿励发布TFX3000 300mm全自动精密薄膜线宽测量系统

摘要：

睿励科学仪器（上海）有限公司宣布推出自主研发的适用于65nm和45nm技术节点的300mm硅片全自动精密薄膜和线宽测量系统（TFX3000）。针对65nm及45nm生产线的要求，本产品的测量系统采用了先进的非接触式光学技术，并进行了全面的优化，能准确地确定集成电路生产中有关工艺参数的微小变化。

关键词：测量系统、全自动、线宽、薄膜、集成电路生产、技术节点、自主研发、科学仪器

所属期刊栏目：20

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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