国际半导体技术发展路线图(ITRS)2009年版综述(5)

摘要：

@@ 4.7新兴材料研究2009年”新兴材料研究”一章是2007版的更新.2009年的”新兴材料研究”一章已经重新组织,针对不同的应用来考察材料,而2007版的”新兴材料研究”一章则根据未来的路线图需求来考察材料及其可能的应用.2009版的”新兴材料研究”一章考察了新兴逻辑器件及存储器器件应用、光刻(包括新的光刻胶材料)、前端工艺和工艺集成及器件应用、互连,以及装配和封装应用等.

机标关键词：半导体、技术发展、路线图、材料研究、器件应用、考察材料、逻辑器件、光刻胶、工艺集成、存储器、组织、装配、需求、前端、互连、更新、封装

所属期刊栏目：19

分类号：TG1;G32

在线出版日期：2010-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：10-21