国际半导体技术发展路线图(ITRS)2009年版综述(3)

摘要：

@@ 3严峻的挑战我们将半导体技术未来面临的挑战分为”近期(从现在开始直至2016年)”和”远期(2017年以后)”两部分.

机标关键词：半导体、技术发展、路线图、技术未来、远期

所属期刊栏目：19

分类号：TG1;G32

在线出版日期：2010-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：17-28