一种异常Vramp I-V曲线分析及其应用探讨

摘要：

讨论分析了Vramp测试方法,说明了I-V曲线的特性.就一个异常案例中测得的I-V曲线展开了分析,说明了曲线异常背后的原因,揭示了Vramp测试结果和等离子所致损伤之间的关联.结合其它可靠性测试项目的结果,成功地进行了氧化层性能快速评估,丰富了Vramp测试的应用.

关键词：Vramp测试、I-V曲线、栅氧化层性能、可靠性风险评估

所属期刊栏目：18

分类号：TP3;TM1

在线出版日期：2009-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：59-63