基于自旋阀结构的磁传感器的研究

摘要：

自旋阀结构的发现为磁电子学以及磁传感器的研究揭开了新的一页.基于自旋阀结构的磁传感器由于具有灵敏度高、功耗小、高集成度等优点,因此在传感器工业中具有广泛的应用前景.本文介绍了基于自旋阀结构的磁传感器的研究方法.首先介绍了自旋阀结构及其特性,然后介绍了基于自旋阀结构的磁性薄膜的制备方法和结构优化,其次介绍了基于自旋阀薄膜的磁传感器芯片的制造工艺,最后介绍了基于惠斯通电桥结构的自旋阀磁传感器芯片.

关键词：自旋阀结构、自旋阀薄膜、自旋阀磁传感器芯片

所属期刊栏目：17

分类号：TM2;TP2

在线出版日期：2009-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：66-69