SRAM故障模型的检测方法与应用

摘要：

静态随机存储器(Static Random Acces S Memory,SRAM)的功能测试用来检测该集成电路(IC)是否有功能缺陷,而目前大部分测试程序都只是集中在如何提高IC测试覆盖度,却很少能够做到检测IC是否有缺陷的同时分析这些缺陷的物理失效机理.本文介绍了一种利用不同测试算法组合测试的方法,在检测IC是否有缺陷同时,还能进行失效故障模型的分析,进一步利用该故障模型可以推测出具体的物理失效机理.该方法能显著提高测试中电性失效分析(EFA)的能力,进而提高了物理失效分析和IC制程信息反馈的效率和能力.

关键词：SRAM、测试流程、故障模型、失效机理、失效分析、电性分析

所属期刊栏目：17

分类号：TP3;TP2

在线出版日期：2009-02-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-68,94