6英寸重掺砷硅单晶及抛光片

摘要：

@@ 1 半导体硅材料在国民经济中的意义在全球信息化和经济全球化的进程中,以通信业、计算机业、网络业、家电业为代表的信息技术,获得了飞速发展,信息产业已经成为每一个发达围家的第一大产业.

机标关键词：英寸、重掺砷硅单晶、全球信息化、经济全球化、信息技术、信息产业、体硅材料、国民经济、网络业、通信业、家电业、计算机、大产业、进程、半导

所属期刊栏目：17

分类号：TN3;O65

在线出版日期：2008-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45