基于视频共焦显微镜光刻对准系统设计研究

摘要：

针对目前研究的激光投影光刻机的对准需要,设计了一套基于视频图像对准原理的激光投影光刻对准系统.详细分析了共焦显微镜和CCD相关双采样图像处理关键技术在本系统中的应用,结果表明CCD图像的质量明显提高,从而提高了视频图像对准系统的精度,完全满足系统分辨精度2.5 μ m的要求.

关键词：视频图像、对准系统、共焦显微镜、相关双采样

所属期刊栏目：17

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：广东省广州市科技计划2006Z3-D0041;广东省自然科学基金07001789

在线出版日期：2008-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：83-86