生产450 mm(18英寸)硅晶圆的经济可行性——来自硅晶圆材料供应厂商的呼声

摘要：

@@ 1 前言根据历史数据分析,晶圆尺寸的倍增转换周期大约为11年.第一条200mm生产线投人生产的时间是在1990年.而第一条300 mm生产线的投产时间是在2001年,相隔大约为11年.

机标关键词：生产线、英寸、硅晶圆、经济可行性、材料、转换周期、数据分析、晶圆尺寸、投产、历史

所属期刊栏目：17

分类号：TN3;TN7

在线出版日期：2008-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：74-82