集成电路工业的废气处理

摘要：

集成电路工业的废气有含氟化物和硫酸雾的酸性废气、含氨的碱性废气、含异丙醇和光刻胶的有机废气,含SiO2的含尘废气,以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等,这些工业废气中大部分成分是有毒有害的,必须进行有效的处理才能排入大气中.本文主要讨论上述工业废气的分类、处理方式、应用范围及应用实例等.

关键词：集成电路、工业废气处理

所属期刊栏目：17

分类号：X7(废物处理与综合利用)

在线出版日期：2008-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：52-54,86