浅谈电子制造过程中的静电及静电防护

摘要：

静电放电(ESD)就是一定数量的电荷从一个物体(例如人体)传送到另外一个物体(例如芯片)的过程.这个过程能导致在极短的时间内有一个非常高的电流通过芯片,35%以上的芯片损坏都可以归咎于此.因此,在电子制造行业里保护芯片免受静电放电的损害是非常重要的.实际上,很多公司在各种不同电子应用中都遇到了如何应对急速增长的静电防护需求的问题.针对ESD机制和防护作了一个较全面的介绍,包括ESD原理、电流产生、危害、防静电工艺要求等.

关键词：静电释放、危害、防护

所属期刊栏目：17

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2008-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：68-75