表面分析技术在半导体器件研发与制造中的地位

摘要：

材料与表面分析技术在半导体器件研发与生产中的地位是一个既清楚又模糊的问题.原因是它的作用有其显见的一面也有其隐匿的一面.如何在实践中发挥它的作用不是一个能够简单地回答的问题.本文将就这一问题进行了浅显的初探.

机标关键词：表面分析技术、半导体器件、制造、实践、生产、模糊、地位、材料

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2008-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-65