丝网印刷聚酰亚胺晶圆保护

摘要：

@@ 适用性
使用丝网印刷的方法对晶圆表面施涂聚酰亚胺保护层相对于传统的旋转-蚀刻工艺技术具有效率和成本的优势.丝网印刷晶圆表面保护只需要两步工序(印刷和固化),而旋转-蚀刻工艺需要七步或更多的工序.

机标关键词：丝网印刷、聚酰亚胺、晶圆、蚀刻工艺、旋转、工艺技术、工序、表面保护、有效率、适用性、保护层、方法、成本

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2008-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：62-66